「PMS=Photo Metric Stereo」是从不同光源的阴影信息算出法线向量，并重新构成三次元形状的算法。
在PMS检查设备使用的就是该算法，并能检查对象的凹凸部分。

系统图像

根据工件在圆弧上移动照明或进行依次点亮的话就能检测膨胀或凹陷部分。

系统图像

硬件结构

胳膊移动型
变更照明的位置可对应于多品种，但需要胳膊的移动空间。
弓形照明型
固定式照明能省空间，但跟胳膊移动型比起来，可对应的品种有限。